出願番号 特願2014-139118
ガスセンサ及びガスセンサアレイ
- 本学の発明者
- 秋山宜生
- 発明者所属
- 工学部 電機電子システム学科
- 特許出願番号
- 特願2014-139118
- 出願日
- 2014-07-04
- 特許登録番号
- 特許第6099056号
- 登録日
- 2017-03-03
- 外国特許出願
- PCT/JP2015/069323
- 外国特許登録
- 米国USP10830723
- 発明が解決
しようとする
課題 - 室温で動作し、繰り返し使用が可能であり、十分に高い感度を示す、ガスセンサの提供。
要約
対向電極2、3の間に半導体ナノワイヤー4が配置され、該半導体ナノワイヤー4は光が照射され得る状態にあり、該対向電極2、3に電圧が印加された状態で該半導体ナノワイヤー4に光が照射されて発生する光電流の、該半導体ナノワイヤーへのガスの吸着に伴
う電流変化を計測する、ガスセンサ。