岡山理科大学 研究・社会連携部 
出願番号 特願2017-063353
ガスセンサ
- 本学の発明者
- 秋山宜生
- 発明者所属
- 工学部電気電子システム学科
- 特許出願番号
- 特願2017-063353
- 出願日
- 2017-03-28
- 特許登録番号
- 特許第6782488号
- 登録日
- 2020-10-22
- 外国特許出願
- 外国特許登録
- 発明が解決
しようとする
課題 - 室温・低消費電力動作にて水素ガス等の無希ガスを高感度に検出することができ、しかも、水素ガス等の無希ガスと有機ガスとの分離検出が可能なガスセンサの提供。
要約
対向電極１Ａ、１Ｂの間に、半導体ナノワイヤー集合物層２、該半導体ナノワイヤー集合物層２の片面に接する触媒金属薄膜層３、及び絶縁薄膜層４がこの順序で配置された積層構造が介在して成る、ガスセンサ１０。