成膜方法は、内部圧力を調整可能なチャンバ１０１内に、非導電性の長尺細管１０２を配置し、炭化水素を含む原料ガスを供給した状態において、長尺細管１０２の内部にプラズマを発生させて、長尺細管１０２の内壁面にダイヤモンドライクカーボン膜を形成する工程を備えている。長尺細管１０２は、一方の端部に放電電極１２５が配置され、他方の端部は開放された状態で、チャンバ１０１内に配置する。放電電極１２５と、長尺細管１０２から離間して設けられた対向電極１２６との間に断続的に交流バイアスを印加する。