窒化処理装置は、大気圧プラズマを発生させるプラズマジェット発生部１０１と、プラズマジェット発生部１０１の先端部に取り付けられた局所密閉カバーとを備え、局所密閉カバーは、被処理物又は前記被処理物を裁置した板体と共に、内部を減圧することが可能な密閉空間を形成する。