直流電源部１０と、該直流電源に接続され、所定電圧のパルスを発生するスイッチ回路部２０と、該スイッチ回路部に接続され、パルスのパルス幅を設定するパルス設定部５０と、を備えたパルス電源装置であって、パルス設定部５０は、パルスの立ち上がりから第１パルス幅Ｔ１でパルスを生成し、続いて第２オフ幅Ｔ２でパルスをオフし、続いて第３パルス幅Ｔ３でパルスを生成するパルス群を設定し、かつ、Ｔ２＜Ｔ１≦Ｔ３に設定する。