スパッタ装置用カソードユニット１００は、ターゲット１１１が保持されるバッキングプレート１１２が設けられたカソード本体１１０と、カソード本体１１０を収容し、バッキングプレート１１２を露出するカバー開口部１２１を端面に有し、カソード本体１１０と絶縁されたカバー１２０と、カバー１２０の端面を覆い、カバー開口部１２１と重なる位置にオリフィス開口部１３１を有するオリフィス１３０と、カバー開口部１３１から露出した空間にガスを供給するガス供給路１４０とを備える。また、０．４≦Ｖ／Ｓ≦１０の条件を満たす。但し、Ｓはターゲットの有効表面積であり、Ｖはカバー開口部から露出した空間の体積とカバーとオリフィスとの間の空間の体積との和である。