チャンバ内に複数の貫通孔を有するマルチホロー放電電極１０１及び炭素ターゲットを保持するスパッタ電極１０２を配置し、マルチホロー放電電極１０１及びスパッタ電極１０２と対向する位置に基材３０１を配置し、炭素を含む原料ガスを貫通孔を通してチャンバ１０５内に供給すると共に、マルチホロー放電電極１０１に高周波電力を供給して、貫通孔を通過する原料ガスをプラズマ化して基材３０１にカーボンナノ粒子を堆積させるカーボンナノ粒子の製造方法。