ダイアフラムに変形領域を設けダイアフラムを弾性変形させやすくした場合には、ダイアフラムの振動時にダイアフラムに貯留室内の圧力によって膨出状の撓みが生じやすく、この膨出状の撓みによってポンプが適正に動作しなくなるおそれがあった。