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    日本表面真空学会より“2019年度SP部会賞”を受賞

フロンティア理工学研究所・中谷教授が
日本表面真空学会より“2019年度SP部会賞”を受賞

[2020.09.01]

フロンティア理工学研究所の中谷達行教授が、日本表面真空学会の” 2019年度SP部会賞”を受賞することが決まりました。本賞は、スパッタリングおよびプラズマプロセス技術およびその関連技術分野において顕著な業績を収めたものに授与されるものです。中谷先生と大学院生の福江さんが研究を進めていた、高度な表面処理を可能とするプラズマ電源を開発したことが高く評価されました。

【受賞名】2019年度SP部会賞
【業績名】HiPIMS用プラズマ電源の開発
【受賞者】研究・社会連携機構　フロンティア理工学研究所　中谷　達行
【団体名】公益社団法人　日本表面真空学会

授賞式は、9月7日（月）にWeb開催される日本表面真空学会SP部会 第164回定期研究会にて行われます。

【日本表面真空学会HP】　　https://www.jvss.jp/

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